Aluminju Mirror Inline Magnetron Sputtering Linja

Deskrizzjoni qasira:

Aluminum Mirror Inline Magnetron Sputtering Line hija ddisinjata għal produzzjoni għolja ta 'skop ta' manifattura ta 'mera tal-ħġieġ.Sabiex il-kisja tal-ħġieġ akbar u tieħu ħsieb il-pannell tal-ħġieġ fraġli, speċjalment għall-folji ta 'daqs kbir, ġeneralment nagħmlu tip orizzontali ta' linja ta 'sputtering.Hija linja ta 'kisi ta' magnetron kontinwu, bil-kamra tal-ippumpjar mhux maħduma ta 'quddiem u ta' wara, u wara l-kamra tat-tranżizzjoni, qabel u wara l-kamra tal-ippumpjar multa, kamra tal-buffer, kamra tal-kisi tal-kulur.

Target d esign: katodi sputtering magnetron ċilindriċi jew/u katodi planari.

Sors ta 'enerġija: provvista ta' enerġija b'qawwa għolja DC jew MF magnetron sputtering

Sistema tas-sewqan: roller drive, frekwenza aġġustabbli, sistema ta 'ftuħ tal-bieb tal-kamra tat-tip ta' induzzjoni.

Sistema tal-vakwu: pompa tad-diffużjoni (jew pompa turbomolekulari) + pompa tal-għeruq + pompa mekkanika