Il-karatteristiċi ewlenin ta 'ARC-500 huma ħinijiet ta' ċiklu mgħaġġel, tħaddim faċli u faċli għall-utent bi prezz favorevoli.Għandu erba 'katodi ta' evaporazzjoni ta 'ark katodiku ta' prestazzjoni għolja.Hija l-għażla ideali għall-klijenti li qed ifittxu li jidħlu fid-dinja tal-kisi jew li jixtiequ jżidu sistema PVD veloċi ta 'volum baxx mal-flotta ta' magni tagħhom.
Teknoloġiji Applikati:
Katodi tal-evaporazzjoni tal-ark katodiku
Vantaġġi:
Użu għoli fil-mira
Rata ta 'depożizzjoni għolja
Skambju rapidu tal-katodu
• Struttura ġenerali: Bieb ta 'quddiem vertikali, bieb ta' quddiem orizzontali, sistema ta 'ppumpjar tal-vakwu ta' wara
• Materjali: Il-kavità hija magħmula minn azzar inossidabbli SUS304 ta 'kwalità għolja
• Sors tal-ark tal-joni: Mgħammar b'settijiet multipli ta 'provvista tal-enerġija tal-ark skont id-daqs tat-tagħmir
• Provvista ta 'enerġija bias: Mgħammar bi provvista ta' enerġija bias polz ta 'stadju wieħed ta' qawwa għolja
• Miri b'ħafna arki: Settijiet multipli ta 'miri tat-titanju jew tal-istainless steel bħala standard
• Sistema li ddur: Regolazzjoni tal-veloċità tal-frekwenza varjabbli, kombinazzjoni ta 'rivoluzzjoni u rotazzjoni, trasmissjoni ta' fuq jew trasmissjoni t'isfel.
• Sistema tal-vakwu (Tagħmir tal-kisi dekorattiv): Pompa tad-diffużjoni (pompa molekulari fakultattiva) + Pompa tal-għeruq + pompa mekkanika
• Kontroll tal-gass: Sistema ta 'kontroll tal-fluss tal-massa tal-gass b'ħafna modi
• Sistema ta 'tisħin: kisi dekorattiv 150 ℃ kontroll tat-temperatura PID aġġustabbli u kontrollabbli
• Kontroll intelliġenti: Kontroll intelliġenti PLC + interface touch b'kulur sħiħ HMI, biex jinkiseb kontroll loġiku kompletament awtomatiku
• Allarm u protezzjoni: Allarm taħt kundizzjonijiet anormali u timplimenta miżuri ta 'protezzjoni korrispondenti.
Max.tagħbija: 100kg
4 - 6 lottijiet / jum
SISTEMI TA’ CAROUSEL MODULARI:
Karużell tal-kicker b'rotazzjoni doppja jew sistema ta' gearbox b'rotazzjoni tripla
SOFTWARE:
Użu u manutenzjoni sempliċi
Sistema ta 'kontroll bi touch screen
Ir-reġistrazzjoni tad-dejta u l-wiri f'ħin reali tal-parametri u l-fluss tal-proċess
Kontroll tal-proċess manwali u awtomatiku
DIMENSJONIJIET TAL-MAGNA:
Footprint [mm]: L2300 x W1600 x H1950